電子工業(yè)無塵廠房檢測電子工業(yè)潔凈室檢測潔凈廠房也叫無塵車間、潔凈室(Clean Room），是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別。
電子工業(yè)潔凈廠房的檢測項目風量（換氣次數(shù)）或風速、靜壓差、高效過濾器（PAO）檢漏、懸浮粒子數(shù)、氣流流型 、溫度、相對濕度、噪聲、照度、自凈時間 、密閉性檢測 、臭氧濃度、隔離檢漏 、表面靜電檢測等。
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電子潔凈室檢測項目
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風量（換氣次數(shù)）或風速測試
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溫度、相對濕度檢測
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靜壓差測試
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噪聲檢測
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已安裝的空氣過濾器泄漏測試
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微振檢測
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潔凈度檢測（塵埃粒子檢測）
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自凈時間檢測
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氣流流型檢測
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密閉性檢測
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照度測試
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表面靜電性能檢測
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檢測對象
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檢測標準
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電子無塵室/潔凈室
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《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50472-2008
《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50073-2013
《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB50591-2010
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電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB50472-2008
D.3 潔凈室測試方法
D.3.1 風量或風速測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 對于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量，并應(yīng)取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應(yīng)將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸，測點應(yīng)在柵格中心或不應(yīng)少于3點。每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、最大值和最小值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風速。
2 對于非單向流潔凈室，每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。
3 在每個末端空氣過濾器或散流器處，應(yīng)采用風口法、風管法、風罩法等測量送風風速確定送風量，每個測試位置的測點數(shù)不應(yīng)少于3點。
D.3.2 靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進行。
2 儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。
3 潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時，應(yīng)從最里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進行檢測。
D.3.3 已安裝的空氣過濾器泄漏測試（高效過濾器檢漏），應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 儀器應(yīng)使用采樣量大于1 l／mm的光學粒子計數(shù)器。
2 應(yīng)在過濾器上風側(cè)引入大于等于0.1μm(0.5μm)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×107P／m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm／s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。
D.3.4 潔凈室潔凈度檢測 潔凈度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 應(yīng)使用采樣量大于1 l／min光學粒子計數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標定合格證書。
2 最少采樣點應(yīng)按下式計算：
NL＝A0.5 (D．3．4—1)
式中 NL——最少采樣點；
A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(㎡)。
采樣點應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。
3 每一采樣點的每次采樣量應(yīng)按下式確定：
4 當潔凈室(區(qū))僅有一個采樣點時，則在該點應(yīng)至少采樣3次。
D.3.5 氣流流型的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。
2 氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。
3 示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。
4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇／正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強度光源下進行觀察或做成圖像。
5 應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進行氣流目測，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。
6 氣流目測的測點位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。
D.3.6 溫度、相對濕度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 溫度、相對濕度的檢測應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合格后安排進行。溫度、相對濕度檢測應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運行1.0h后進行。
2 相對濕度檢測應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格最大面積應(yīng)為100㎡，應(yīng)每格一個測點，但每個房間不應(yīng)少于2個測點。
3 檢測用探測器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度，且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。
4 檢測時間應(yīng)至少1.0h，并應(yīng)至少6mm進行1次(30s)讀數(shù)、記錄。
D.3.7 噪聲檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計。
2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m，距墻應(yīng)大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100㎡設(shè)一檢測點。
D.3.8 照度測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。
2 照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進行。潔凈室(區(qū))照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。
3 照度檢測點應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25㎡設(shè)一個測點。
D.3.9 微振檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場所的檢測，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動值要求的微振測試分析系統(tǒng)進行分階段測試。
2 微振檢測點應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計的要求設(shè)置，一般檢測點應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。
3 微振控制的檢測應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進行?，F(xiàn)場檢測數(shù)據(jù)等應(yīng)經(jīng)過科學分析后，提供微振控制檢測報告，應(yīng)包括檢測數(shù)據(jù)的分析、結(jié)論等。
D.3.10 自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。
2 自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數(shù)器進行檢測，同時應(yīng)符合下列要求。
1)以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N0)。然后開機，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間(t)。
2)以人工塵源為基準時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N0)。然后開機，方法同上。
3 由初始濃度(N0)、室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度(N)、實際換氣次數(shù)(n)，可得到計算自凈時間t0)，與實測自凈時間(t)進行對比，如果t≤1. 2t0，為合格。
4 自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。
D.3.11 密閉性檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 密閉性檢測或稱抑制滲漏測試，是測定潔凈室(區(qū))有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測一般用于ISO 1～5級潔凈室(區(qū))。
2 采用粒子計數(shù)器法檢測潔凈室(區(qū))的密閉性，檢測時應(yīng)先測量緊靠被測圍護結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104，并大于等于3.5×106個／m3待測粒徑的粒子。
3 潔凈室(區(qū))的施工接縫，包括對墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測，應(yīng)在被測部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm／s。
潔凈室敞開門處的滲漏檢測，應(yīng)在距離門0.3～3.0m處測定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。
記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置
